193nm ArF dry对应的芯片工艺是110～65nm。
193nm ArF+immersion对应的芯片工艺则是45～7nm。

第二个日本荷兰确认跟禁
第一个美国还在施压

举个例子

迪吹鼓吹的比亚迪IGBT MCU啥的90nm
如果美国说服荷兰日本了
比亚迪也没戏了。




  
【 在 Hardcore (多读paper，读好paper) 的大作中提到: 】
:  没有45nm光刻机这么个东西，谢谢
:  
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