请问，cr掩膜与硝酸铈铵&醋酸反应后的生产物是什么，哪里可以查

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主题:请问，cr掩膜与硝酸铈铵&醋酸反应后的生产物是什么，哪里可以查
楼主|eplain|2006-08-30 11:11:34|展开
在刻蚀工艺中，经常要用硝酸铈铵与醋酸的混和液去刻蚀cr掩膜，但不知道这一过程发生
了什么样的化学反应，又生成了什么样的物质，我不是学化学的，请问哪里可以查道这以
反应的化学反应方程式啊？谢谢～！
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FROM 210.72.9.*
2楼|eplain|2006-08-30 14:25:16|展开
那有没有生成Cr6+呢？
【在 c2h2c2h2 (飞飞飞扬) 的大作中提到: 】
: 就是Cr被氧化成三价的Cr3+离子被
: 生成的物质是混合物，很复杂
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FROM 210.72.9.*

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