- 主题:蒸镀和溅射Pt，哪个更致密电阻更小？
最近刚好和人争论不清，请问蒸镀和溅射相比，是不是particle更小，镀层更致密，相同的厚度电阻更小？谢谢！
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FROM 202.40.139.*
理论上应该溅射吧
但是实际应用中，两者最后可能都要退火，电阻差别不是那么大？
【 在 kangg (目前要多工作) 的大作中提到: 】
: 最近刚好和人争论不清，请问蒸镀和溅射相比，是不是particle更小，镀层更致密，相同的厚度电阻更小？谢谢！
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FROM 202.118.186.*
你是说理论上溅射比蒸镀更致密电阻更小?
我上次拿去溅射和蒸镀各10片，都要求100nm厚，结果测的电阻溅射的比蒸镀的大三倍
我就怀疑是不是他们没有给我镀够厚度
【 在 lieut77 (复员中尉) 的大作中提到: 】
: 理论上应该溅射吧
: 但是实际应用中，两者最后可能都要退火，电阻差别不是那么大？
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FROM 202.40.139.*
过了几天想起来来看一下，呵呵一个回复都没有啦
【 在 kangg (目前要多工作) 的大作中提到: 】
: 你是说理论上溅射比蒸镀更致密电阻更小?
: 我上次拿去溅射和蒸镀各10片，都要求100nm厚，结果测的电阻溅射的比蒸镀的大三倍
: 我就怀疑是不是他们没有给我镀够厚度
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FROM 202.40.139.*
三倍，请问测量的误差有多大?
【 在 kangg (目前要多工作) 的大作中提到: 】
: 你是说理论上溅射比蒸镀更致密电阻更小?
: 我上次拿去溅射和蒸镀各10片，都要求100nm厚，结果测的电阻溅射的比蒸镀的大三倍
: 我就怀疑是不是他们没有给我镀够厚度
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FROM 130.49.204.8