本公司开展镀膜服务:
1. 崭新磁控溅射镀膜机：
（1）配有3个靶，可以不间断连续镀3种薄膜；
（2）配有膜厚监控仪，镀膜厚度可以精确到1.0 nm（甚至更低）；
（3）镀膜工艺具备良好的一致性和稳定性；
（4）配有直流电源和射频电源，导电材料和绝缘材料都可以镀膜；
（5）配有偏压电源，薄膜附着力强。
2. 备有40多种靶材（详见镀膜材料列表），几乎所有金属材料都可以镀；如有特殊要求（如绝缘材料），请客户自己提供靶材，镀膜后寄回客户。
3. 依据镀膜厚度相应收取镀膜费用。
4. 可靠的服务保障：可以按客户要求进行试验和改进，如果不满足要求，不收费。
5.镀膜材料列表：
Pr 镨
Nd 钕
Sm 钐
Gd 钆
Tb 铽
Dy 镝
Ho 钬
Er 铒
Yb 镱
Ce 铈
La 镧
Y 钇
Hf 铪
Pd 钯
Pt 铂
TiN
ZrB2
TiB2
Cu2O
MoS2
ZnO:Al
薄膜材料的X射线检测与结构分析服务：
服务项目：
1.单晶、外延层材料的高分辨率X射线衍射检测与分析
1.GaN, AlN, InGaN, AlGaN, 蓝宝石等
2.GaAs, InP, AlGaAs, InGaAs, InGaAsP, AlGaInP等
3.Si, Ge, SiC, SiGe, Si:C, Si:P等
4.GaSb, InSb等
5.CdZnTe, HgCdTe等
2.薄膜材料的X射线反射率检测与分析
1.金属膜、介电膜等
3.多晶薄膜材料的X射线衍射检测与分析
服务内容：
1. 高分辨率X射线衍射检测与分析
1.Theta-2Theta扫描(Omega-2Theta扫描)
2.摇摆曲线扫描
3.倒易空间map(RSM)测量
4.外延层组分分析
5.外延层应变、弛豫度、失配度分析
6.晶体质量评估
7.多量子阱(MQW)、超晶格(SL)结构参数检测与分析
2. X射线反射率检测与分析
1.镜面反射扫描
2.薄膜厚度
3.薄膜密度
4.薄膜粗糙度
5.薄膜孔隙率
6.多层膜结构解析
3. 多晶薄膜X射线衍射检测与分析
1.2Theta-Theta扫描
2.薄膜掠入射XRD
3.晶粒尺寸分析
业务咨询联系人：陆小姐 13901753943 021-58885662 邮箱：sales@ebridge.net.cn
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