清华大学材料中心实验室（逸夫技术科学楼）扫描俄歇纳米探针（俄歇光电子能谱仪）对外开放运行  
    
      清华大学材料中心实验室（逸夫楼部分）新购置了PHI公司的扫描俄歇纳米探针（俄歇电子能谱仪，AES，型号PHI 710。是当今最高档的俄歇谱仪）。  
    全面对外开放，提供测试服务，欢迎校内外课题组前来测试。  
    
主要功能：  
    
    在SEM功能的帮助下，选定所需要的微区（最小8nm），分析其在最表层（5nm以内）的元素。也可以做线扫描和面扫描，分析该区域内最表层（5nm以内）的元素的分布。可以进行逐层地剥离，做元素的深度分布分析。对部分元素，可以对上述分析所得信息进行有关的元素化学态分析。可以对上述所选区域进行EBSD分析，包括晶粒取向分析、取向差分布、织构分析和晶粒尺寸测量等。  
    
主要标称技术指标：  
    
SEM像空间分辨率： < 3 nm（25 kV）  
AES成分像空间分辨率：< 8 nm（20 kV，1nA）    
AES灵敏度：>700 kcps（Cu LMM，10 kV，10nA）  
AES最优能量分辨率：优于0.1%  
AES信噪比：>700:1（10 nA, 10 kV）  
EBSD取向差角分辨率：优于0.1度  
    
地址：清华大学逸夫技术科学楼1133室  
电话：010-62792110  
联系人：于红云，张猛猛  
清华大学材料中心实验室（逸夫技术科学楼部分）  
    
2017.3.8
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