1956年，中国提出了“向科学进军”的号召，将半导体技术列为重点发展的领域之一。中国科学院应用物理所首先举办了半导体器件短期培训班，随后，由北京大学、复旦大学、吉林大学、厦门大学和南京大学五所大学联合开办了半导体物理专业，清华大学开办了半导体专业。
二十世纪五十年代末，西安交通大学、电子科技大学、华中科技大学等院校先后成立了无线电元件与材料专业；清华大学、华中科技大学、西安电子科技大学等院校设立了电真空技术专业。
1964年，中国科学院在上海建立了激光技术专业研究所上海光学精密机械研究所。1971年，由清华大学、北京大学、天津大学、中国科技大学等院校在科学研究的基础上，成立了激光专业。
二十世纪七十年代，由无线电通信与电子系统学科演变产生了电磁场与微波专业，无线电元件与材料专业也更名为电子元器件与材料专业。
1985年，根据教育部颁布的专业目录，激光专业与红外光谱学合并，更名为光电子技术专业；电子元器件与材料专业更名为电子材料与元器件专业。 [2]
1998年，教育部颁布了《普通高等学校本科专业目录（1998年颁布）》，将原电子材料与元器件、微电子技术、物理电子技术、物理电子和光电子技术、光电子技术专业合并为电子科学与技术专业，专业代码为080606。 [3]
2012年，教育部颁布了《普通高等学校本科专业目录（2012年）》，将原电子科学与技术和真空电子技术专业合并为电子科学与技术专业，专业代码变更为080702，属电子信息类专业。 [4]
2020年，教育部颁布了《普通高等学校本科专业目录（2020年版）》，电子科学与技术专业为工学门类专业，专业代码为080702，属电子信息类专业，授予工学或理学学士学位。 [5]
【 在 heyuanlie 的大作中提到: 】
: 似乎不全是你说的这样，至少90年代初的时候的电子类专业就叫无线电技术，后来无线电技术在90年代末就改成（细分成）了电子工程或通信工程。
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