120nm,这个用在芯片什么工艺上?
3nm 5nm 14nm还是就是说的这个120nm
【 在 Acui 的大作中提到: 】
: 10月15日消息,日前,武汉太紫微光电科技有限公司(以下简称“太紫微公司”)推出的T150 A光刻胶产品,通过半导体工艺量产验证。
: T150 A光刻胶实现配方全自主设计,对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
: 据介绍,相较于国外同系列产品UV1610,T150 A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大,稳定性更高,坚膜后烘留膜率优秀。
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