新加坡和希腊是怎么放到一起比较的


【 在 tsa300 的大作中提到: 】
: 劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）正在研究拍瓦（peta watt）级铥激光器，据说其效率比 EUV 工具中使用的 CO2 激光器高 10 倍，并且可以在未来许多年取代光刻系统中的 CO2 激光器。
: LLNL 牵头的计划将评估大孔径铥 (BAT) 激光技术，与当前行业标准 CO2 激光器相比，将 EUV 光源效率提高约十倍。这一进步可以为新一代“超越 EUV”光刻系统铺平道路，该系统可以更快地生产芯片，并且功耗更低。当然，将BAT技术应用到半导体生产中需要对基础设施进行重大改变，
: 因此需要多长时间才能取得成果还有待观察；当前的 EUV 系统是经过数十年的发展而开发的。
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