电子显微镜，扫描电镜。常规操作。
【 在 yuhangtang 的大作中提到: 】
: 关键是芯片如何抄板?现在的芯片一半都65nm以下了,而光学分辨率的极限是波长/2,可见光的波长在400nm以上,也就是说光学分辨率的极限是200nm,如何抄65nm的芯片
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