DUV和EUV最大的区别就是光源，光源这一块国内技术也已经突破了，现在就是工业化实用化的问题，不远了。
刻蚀机中微的差距也不大。

【 在 SSJ100 的大作中提到: 】
: EUV光源是美国独家掌握，刻蚀机美国也最厉害
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