2014年成立了国家集成电路产业投资基金，一期就募集了1387亿元，专门用于支持芯片产业链的发展。

上海微电子装备公司（SMEE），扛起了国产光刻机的大旗。

从光学系统到精密机械，他们一步一个脚印，攻克了一个又一个技术难题。

到了2020年，国产DUV光刻机的原型机终于问世。

【 在 kadoyo 的大作中提到: 】
: 泉芯四大股东分别为济南集芯产业发展投资合伙企业（有限合伙）、逸芯集成技术（珠海）有限公司、济南高新控股集团有限公司和济南产业发展投资基金合伙企业（有限合伙）。
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: 我国60年代就曾布局过光刻机且技术先进，那时光刻机巨头ASML还没诞生，直到70年代，ASML仍是小字辈。
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