- 主题:【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？ (转载)
要达到0.1um，首先你要搞清楚你说的是分辨率还是绝对精度的关系，你的具体应用和目的是什么，是否还有重复度要求，如果随便一句0.1um，只能说你不知道你在说什么。其次要说预算。
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
: 发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
: 标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
: 发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
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绝对精度？你知道这4个字加上0.1um是什么吗？不要肆意增加难度。
你有恒温恒湿环境？你有超精密的操作素养和经验？
你还没说预算，别说2000啊
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
: 当然是绝对精度，你没看到我的描述吗？就是为了区分这两者特意加的。
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他在特快要求5cm行程
【 在 dormouseBHU 的大作中提到: 】
: 他这个量程只要0.1mm，精度0.1um不算高，误差不超过1e-3就行。热膨胀系数在1e-5这个量级，所以他这个应用热胀冷缩的影响没那么显著。
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有绝对精度0.1um的光栅尺？龙头雷尼绍和海德汉目录最好只到1微米。
【 在 dashudashu 的大作中提到: 】
: 光栅尺，电容传感器，电感传感器，都可以
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修改:Arptor FROM 116.9.116.*
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有绝对精度0.1um的光栅尺？龙头雷尼绍和海德汉目录最好只到1微米。
【 在 xuelu 的大作中提到: 】
: 光栅尺。
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修改:Arptor FROM 116.9.116.*
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请指教
【 在 dashudashu 的大作中提到: 】
: 有的，
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你说的是分辨率，不是绝对精度。 MicroE我手上还有10nm的读头。MicroE的玻璃尺也是
1um的，金属尺是5um
【 在 dashudashu 的大作中提到: 】
: 我看我这乙方公司用的microe公司的，刚好100nm
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再请教你说的另外两个传感器品牌
【 在 dashudashu 的大作中提到: 】
: 那就自己上个激光干涉仪测量一下，然后修正补偿一下呗
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