- 主题:【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？ (转载)
光栅尺，电容传感器，电感传感器，都可以
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
: 发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
: 标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
: 发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
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有的，
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 有绝对精度0.1um的光栅尺？龙头雷尼绍和海德汉目录最好只到1微米。
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我看我这乙方公司用的microe公司的，刚好100nm
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 请指教
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那就自己上个激光干涉仪测量一下，然后修正补偿一下呗
【 在 Arptor 的大作中提到: 】
: 你说的是分辨率，不是绝对精度。 MicroE我手上还有10nm的读头。MicroE的玻璃尺也是
: 1um的，金属尺是5um
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