看目标尺寸、行程
小目标小行程用个差分电容就行，几百几千就成

【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
: 发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
: 标  题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
: 发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
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