光栅, LVDT, 应该都可以做到nm级别
【 在 FlytoSkyBoy 的大作中提到: 】
【 以下文字转载自 NewExpress 讨论区 】
发信人: FlytoSkyBoy (I Want to Fly!), 信区: NewExpress
标 题: 【求问】测量位移精度能达到0.1um的方法有哪些？
发信站: 水木社区 (Mon Sep 30 08:18:50 2024), 站内
一个工件移动了0.1毫米左右，如何准确测量出它移动的精确位移，比如是99.9微米，或
者100.1微米
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FROM 124.16.158.*