有光刻机专项啊
中科院牵头的

【 在 grampus 的大作中提到: 】
: EUV卡脖子太厉害了，喘不上气来啊。以前还能通过IMEC的渠道拿，以后这个渠道也可
: 能行不通。荷兰一旦不给，我们后面的发展严重受限。虽然不至于停滞，但搞不好也
: 许会畸形发展。
: ...................
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