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主题:提个思路:可否用集成化,并行化电子束光刻,替代euv
3楼
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sandy0
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2020-06-02 19:45:47
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波长(λ)要求越来越短,功率要求越来越高。
很久之前好像用过电子束
【 在 anotherstone 的大作中提到: 】
: 效率是低点,但能解决有无问题,
:
: 结构上简单,量产后,会不会成本也能下来。?
: ....................
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