能不能用臭氧和氧气的PLASMA，这样低温就能快速氧化。
【 在 dxg2000 的大作中提到: 】
: \[累计积分奖励: 100/0\]  
: 现在想把划完片的芯片侧面进行氧化或者钝化，有什么方法可以解决吗  
: 如果可能的话，芯片背面也进行氧化或者钝化  
: 谢谢啦  
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发自「今日水木 on HMA-AL00」
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