130纳米工艺节点从铝导线换成铜导线，有什么了不得的？

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主题:130纳米工艺节点从铝导线换成铜导线，有什么了不得的？
楼主|grampus|2020-12-19 19:30:45|展开
不就是换了一下导线吗。另外，IBM怎么把自己的技术给了台积电了？
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2楼|grampus|2020-12-19 21:10:31|展开
深能级杂质和硅接触了会怎样？最后怎么解决的？同为金属，为啥铜铝在能级上会如此不同呢？

【在 oyangshan 的大作中提到: 】
: 铜是深能级杂质，要保证整个工艺过程中铜不能和硅直接接触，难度很大，铝没这个问题
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