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主题:上海微的光刻机啥进展了?
16楼
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xmly
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2021-06-24 06:39:16
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这个是 整机厂商, 只做控制。
它需要 光源模组 才行
smee应该是自己没能力研发光源模组, 只能等其他地方突破光源模组 才可以。
似乎是 北京的企业负责光源
【 在 sunfelix 的大作中提到: 】
: 好久没什么消息了,情况要是乐观,官媒早就开吹了吧。
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FROM 73.225.94.*
21楼
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xmly
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2021-06-25 02:24:13
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清华 不会跳票吧?
【 在 sunfelix 的大作中提到: 】
: 光源中科院跟清华都在搞一样,清华号称EUV光源都要搞定了。
: 发自「今日水木 on ELE-TL00」
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FROM 73.225.94.*
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