光刻使用很多波长的光。 I-line，G-line一般用汞灯，duv有248nm，193nm， 用的是激光。 euv 用的也是激光。在 euv商业化之前，面临的难题之一就是激光功率不够，导致euv光刻机产能低、经济效果差。
【 在 myspam 的大作中提到: 】
: 激光比较好控制,有用它当光源的吗,纯想像觉得用激光做光刻应该在某些方向有很大好处吧
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: SYSOP提示: 近期，以原地理版版主damoxx（现已杀档）为首的流氓集团疯狂盗号，疯狂注册，我们已经上了很多技术手段进行拦截，然而即便我们已经增加了很多技术手段，但是如果大家的登录密码依旧薄
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发自「今日水木 on JSN-AL00」
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