什么是沉浸式光刻机？

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主题:什么是沉浸式光刻机？
楼主|vehicle9|2022-09-15 23:49:58|只看此ID
沉浸式光刻机就是DUV光刻机吗？
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FROM 120.36.102.*
1楼|mangbudie|2022-10-07 21:25:12|只看此ID
浸没式！
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FROM 223.104.41.*
2楼|Matshaw|2022-10-10 00:00:58|只看此ID
台积电的林本坚使用193nm波长在镜头处设置水介质的浸没光路，是DUV
※ 修改:·Matshaw 于 Oct 10 00:01:34 2022 修改本文·[FROM: 1.203.183.*]
※ 来源:·https://exp.mysmth.net·[FROM: 1.203.183.*]

修改:Matshaw FROM 1.203.183.*
FROM 1.203.183.*
3楼|yeludaoge|2022-10-10 09:08:58|只看此ID
泡水里
【在 vehicle9 的大作中提到: 】
: 沉浸式光刻机就是DUV光刻机吗？
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FROM 122.14.47.*
4楼|vehicle9|2022-10-10 09:17:06|只看此ID
很高级吗？

【在 yeludaoge 的大作中提到: 】
: 泡水里
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FROM 223.104.51.*
5楼|ztysys|2022-10-10 10:33:53|只看此ID
不高级，已经白菜价了~

【在 vehicle9 的大作中提到: 】
: 很高级吗？
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FROM 114.84.192.*
6楼|vehicle9|2022-10-10 11:10:56|只看此ID
美帝敞开卖给我们？
【在 ztysys 的大作中提到: 】
: 不高级，已经白菜价了~
:
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FROM 125.77.120.*

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