- 主题:求助个工艺问题
我们设计后,因为管子阈值电压原因,想改NW这一层mask,把NW扩大。
我以为只要花一层mask的钱,改掉就好了。
foundry回复,要改十几层。这是为什么啊?
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update:
基本搞明白了,NW一layer层确实要和很多层mask耦合,进行逻辑运算。
foundry把全部耦合的mask,都给我们列出来了。。
但是foundry回复我们的时候,不知道我们的版图,
我们NW一层扩大了,如果里面没有AA,没有MOS,很多层经过逻辑运算后,前后也还是一致的,不用重新做mask。。
现在foundry在看我们的gds确认。
最后可能是改两层,PW和NW,剩下层不用改。
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修改:CoreMM FROM 120.204.127.*
FROM 39.144.40.*
改NW的原因,是因为WPE效应。
扩大的部分,其实也不会放管子。
相当于本来有个小别墅,但是花园太小,我想把花园扩大一些,把栅栏移个位置,
扩大的部分不盖房子,这样可以类比吗
【 在 aeroing 的大作中提到: 】
: 学校那种连排宿舍,你想把一楼的房间扩大
: 发自「今日水木 on V1955A」
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FROM 39.144.40.*
涉及阈值电压调整一类的mask,
还有SN SP AA
【 在 ericking0 的大作中提到: 】
: 十几层?
: 哪些层次?
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FROM 39.144.40.*
我们找内部工艺专家讨论后,跟foundry说了,foundry找我们要了gds坐标,在看。
【 在 aeroing 的大作中提到: 】
: 你跟foundry这么说了吗?
: 发自「今日水木 on V1955A」
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FROM 120.204.127.*
各种涉及LDD结构的mask,公司保密,不能挨个都列出来了。
【 在 ericking0 的大作中提到: 】
: 这和所谓的十几层还是有差距的吧?
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FROM 120.204.127.*
差不多是这个意思,还好我们搞明白了。
在一楼有更新。
【 在 lxku 的大作中提到: 】
: foundry的意思是要他们重新流片,改一下相当于多花十几层的价钱。
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FROM 120.204.127.*