西郊曾经搞过光刻机，后来停了，  不过光刻工艺似乎一直在用，只是不是做芯片了
  
【 在 titaurusy (astro galaxy) 的大作中提到: 】
:  注意是商用，要解决工程应用以及成本、供应链问题。
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