光刻机的核心测量手段，你了解多少？

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主题:光刻机的核心测量手段，你了解多少？
楼主|NorthWestPAK|2023-02-10 07:45:11|只看此ID
光刻机的测量要求和精度超出绝大多数人的想象，好在中国还有像哈工大这样的大学，几十年如一日从事这一领域的研究和生产啊。。。

https://zhuanlan.zhihu.com/p/544732676
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1楼|frodo2004|2023-02-10 09:42:46|只看此ID
到底相关技术有没有商业化进入量产生产线
如果没有就不要瞎吹，扰乱视听
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2楼|trace22|2023-02-10 13:23:07|只看此ID
【在 NorthWestPAK 的大作中提到: 】
: 光刻机的测量要求和精度超出绝大多数人的想象，好在中国还有像哈工大这样的大学，几十年如一日从事这一领域的研究和生产啊。。。
:
: https://zhuanlan.zhihu.com/p/544732676
几十年如一日研究的机构多了，很多农学、气象和地学的都是这个状态。
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