这个相当于啥也没说啊
【 在 tianyalaike 的大作中提到: 】
: 集微网消息，清华大学机械工程系本科生官方微信平台机械之声日前发文，介绍了该系于8月13日举办的制造前沿讲堂—集成电路专场活动，本期活动邀请到清华机械工程系长聘教授朱煜，就光刻机技术做专题讲座。
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: 根据朱煜教授介绍，我国多家研究所正在共同进行DUV光刻机整机攻关和EUV光刻机关键技术预研，清华大学团队目前正在承担浸没双工件台、平面光栅测量系统、EUV光刻机真空工作台等的研发工作。
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--来自微微水木3.5.14
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