只是工件台
有什么不可信的
主要是光学的部分难做


【 在 tianyalaike 的大作中提到: 】
: 集微网消息，清华大学机械工程系本科生官方微信平台机械之声日前发文，介绍了该系于8月13日举办的制造前沿讲堂—集成电路专场活动，本期活动邀请到清华机械工程系长聘教授朱煜，就光刻机技术做专题讲座。
: 根据朱煜教授介绍，我国多家研究所正在共同进行DUV光刻机整机攻关和EUV光刻机关键技术预研，清华大学团队目前正在承担浸没双工件台、平面光栅测量系统、EUV光刻机真空工作台等的研发工作。
: 随后，清华大学机械工程系助理教授、研究员柴智敏带来了芯片技术专题讲座，分享了光刻领域目前我国正在研究的几项前沿图案化技术，如近场光刻技术、纳米压印技术、共聚物定向自组装光刻等。
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