DUV刚出来肯定一堆问题，花个三四年估计才能达到asml同等水平。
【 在 tianc03 的大作中提到: 】
: DUV处在量产前夜了。国内产业链这次能走通商业路子，能活下去，后续起飞就是时间问题了。
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现在最先进的国产duv是在90nm线上跑的干式，说还有一堆问题
年底推出的是浸没式的。
【 在 tianc03 的大作中提到: 】
: 曾经活跃的上微内幕人士说是21年底交付了样机，今年这次是量产型交付，水平接近1980i。现在此人删除发言遁了，估计是被保密人士喊去喝茶了。
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