极紫外吸收非常强，得真空加反射，有介质就完蛋。
【 在 phoenixhills 的大作中提到: 】
: 非要用水？比水折射率高的晶体有的是啊，完全可以把光刻频率向紫外频段延展啊
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: 修改:phoenixhills FROM 218.249.201.*
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FROM 223.104.39.*