极紫外光刻，为啥不用高折射率晶体？

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主题:极紫外光刻，为啥不用高折射率晶体？
楼主|phoenixhills|2023-09-04 16:20:03|展开
非要用水？比水折射率高的晶体有的是啊，完全可以把光刻频率向紫外频段延展啊
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修改:phoenixhills FROM 218.249.201.*
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3楼|phoenixhills|2023-09-05 12:22:35|展开
那为啥duv的时候不用晶体？

【在 tgfbeta 的大作中提到: 】
: 极紫外根本不用水
: 极紫外用的是凹面镜
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