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主题:极紫外光刻,为啥不用高折射率晶体?
1楼
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tgfbeta
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2023-09-05 11:52:27
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极紫外根本不用水
极紫外用的是凹面镜
【 在 phoenixhills 的大作中提到: 】
: 非要用水?比水折射率高的晶体有的是啊,完全可以把光刻频率向紫外频段延展啊
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FROM 60.24.249.*
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