- 主题:用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行 (转载)
连续工作能力怎么样？成本怎么样？高能光束提取有没有什么瓶颈？
这属于用180米长的大刀杀鸡了。
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 发信人: Zinux (Zinux), 信区: ITExpress
: 标 题: 用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行
: 发信站: 水木社区 (Fri Sep 8 14:12:13 2023), 站内
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最首要的问题，是能否实现极紫外频段。
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 以前是一人备把小刀杀鸡，然后去炸鸡
: 现在是搞个杀鸡厂，直接供给每个人屠宰后的鸡去炸
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LPP是啥？制光效率怎么样？能不能小型化？能用光纤长距离传输高功率激光吗？
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 没问题，同步辐射光源能输出13.5nm激光，甚至更低，比如2-3nm
: 而且输出功率比ASML的LPP方式大几个数量级
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LPP中文怎么说？我和领导汇报，给你的项目投钱，我不能只说英文吧？什么20万瓦，不符合中文表述，直接说200千瓦多好。
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: LPP就是现在ASML的方式呀
: 用20万瓦的二氧化碳激光去轰击锡滴来产生300瓦的EUV，然后通过收集镜，照明反射镜和投影物镜经过11次反射后到达硅片表面，每次反射损耗30%能量，最终到达硅片的能量只有可怜的300瓦x2%=6瓦。为了解决锡污染，又搞了一堆特殊镜头。
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那得投点钱，让他们搞一下，谁知道到底能不能走通。
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: LPP（laser-produced plasma）全称为激光等离子体光源
: 别给我投钱呀，我不是这方面专家
: 只是根据网上的资料分析一下，发现弯道超车ASML EUV是有可能的
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光源功率大了，搞批量电子束直写都行。
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 砸吧，赶紧把光源搞定了
: 现在清华说是要在雄安搞一个稳态微聚束极紫外光源（SSMB-EUV）项目
: SSMB是产生同步辐射的新方式
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这个得找些人调研一下。
【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 重点是
: 类似ASML这种内置在10平米内的300瓦EUV光源不仅难搞
: 而且后续物镜也一堆麻烦，精度要求极高
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