用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行 (转载)

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主题:用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行 (转载)
3楼|ipwireless|2023-09-08 17:05:13|展开
EUV这么传输？难不成EUV像水一样可以用一个容器收集？

【在 Zinux 的大作中提到: 】
: 发信人: Zinux (Zinux), 信区: ITExpress
: 标题: 用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行
: 发信站: 水木社区 (Fri Sep 8 14:12:13 2023), 站内
: ...................
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9楼|ipwireless|2023-09-08 18:37:04|展开
哪一样有损耗的问题，并不比ASML的方案强。

【在 Zinux 的大作中提到: 】
: 不知道光纤或者特制光纤是否可以传输
: 但至少超真空管道+几面反射镜搞个激光光路肯定没问题的
: 就跟潜望镜似的
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