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主题:用同步辐射光源实现EUV弯道超车是可行 (转载)
11楼
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lovelyroy
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2023-09-08 18:41:23
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可以申请专利先占个坑,每个技术方向以后的强弱谁说得来呢
【 在 ipwireless 的大作中提到: 】
: 哪一样有损耗的问题,并不比ASML的方案强。
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