一座同步辐射源，理论上最多能够为多少台EUV提供高功率光源？


【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 发信人: Zinux (Zinux), 信区: ITExpress
: 标  题: 外置同步辐射光源+简化光刻机的可行性及成本分析
: 发信站: 水木社区 (Fri Sep  8 22:45:29 2023), 站内
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FROM 125.33.81.*

不错。你这个贡献很大啊。


【 在 Zinux 的大作中提到: 】
: 这问题已经在ITExpress回答过了，我认为就是一种技术惯性
: Cymer和此前的光刻机厂商都是走内置光源路线的，当然不会搞个庞大的同步辐射光源
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FROM 218.249.201.*