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主题:据说同步辐射光刻的主要难点是 去相干?
1楼
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LordTod
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2023-09-15 10:39:24
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懂的不会说,这方面遥遥领先,谨防网军spy
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
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