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主题:据说同步辐射光刻的主要难点是 去相干?
19楼
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djshaofei
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2023-09-16 13:39:11
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不是难点
有成熟方案
【 在 woolgather 的大作中提到: 】
: 因为同步辐射光是 准相干
: 直接用于光刻 会出现干涉条纹
: 要去相干
: ...................
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FROM 122.235.136.*
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