具体方法我不知道，但是原子大小就是0.1纳米，这是极限了
【 在 CQJN 的大作中提到: 】
: 冒昧回答一下。用尺寸微缩的办法达不到1纳米以下，0.1纳米工艺是比拟的说法，是用三维堆叠方式等效实现用尺寸微缩方式实现不了的亚纳米工艺。各种方法的本质都是提高片内器件密度，所以有共性。
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