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主题:看到一个国产euv光刻机工件台的电机
9楼
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bhfwg
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2023-12-09 21:28:27
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光刻厂是不是正确的路子?貌似都是自媒体再说,没看见权威出来说
【 在 salsalover 的大作中提到: 】
: 光刻机就2块,一个曝光机,一个伺服载物台
: 这两块又有相关性,曝光快门越快,对伺服要求越低,反过来伺服技术越高,对曝光速度要求越低
: 总得来说,技术路线是往曝光速度快的方向走的、
: ...................
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FROM 221.218.68.*
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