那是个完全可行的方案。

EUV光刻机的核心就是产生极紫外光，你可以在一个狭小的空间里通过精密的控制来实现，也可以大力飞砖，用一个很大的装置产生极紫外光，殊途同归。

【 在 a9udn9u 的大作中提到: 】
: 几个月前在本版看到的时候以为是自媒体yy，看来不全是谣言。
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