貌似卡在光源功率不够？不懂哈，网上看的
【 在 ipwireless 的大作中提到: 】
: 那是个完全可行的方案。
: EUV光刻机的核心就是产生极紫外光，你可以在一个狭小的空间里通过精密的控制来实现，也可以大力飞砖，用一个很大的装置产生极紫外光，殊途同归。
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