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主题:6纳米的光刻机,怎么做出半周期2纳米、周期4纳米的结构?
25楼
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Matshaw
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2025-04-13 18:10:25
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多次曝光就行了
- 来自 水木社区APP v3.5.7
【 在 snowfields 的大作中提到: 】
: 这种结构,黑白代表两种不同的深度
:
: 假设黑色和白色线条宽度都是200纳米,怎么用600纳米的光刻机做出这种结构出来?
--
FROM 111.201.123.*
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