asml的干式也不行吧,干式应该只能到65、40
【 在 djkstra 的大作中提到: 】
: 标 题: Re: 湾展工作人员——国产首台浸润式光刻机已经在上海中芯试用
: 发信站: 水木社区 (Thu Oct 23 09:31:05 2025), 站内
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: ASML的干式可以,上海微的不行,28nm是浸没式
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: 【 在 MachvPicchv 的大作中提到: 】
: : 28nm还需要用浸没式?干式就可以。
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: ※ 来源:·水木社区
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