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主题:Re: 130纳米工艺节点从铝导线换成铜导线,有什么了不得的?
oyangshan
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2020-12-20 16:11:07
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会导致钉扎效应影响晶体管阈值电压,解决办法就是把铜线用另一种或几种材料包起来,和硅完全隔离。
能级不同是他们的原子特性决定的,不同金属差别很大
【 在 grampus 的大作中提到: 】
: 深能级杂质和硅接触了会怎样?最后怎么解决的?同为金属,为啥铜铝在能级上会如此不同呢?【 在 oyangshan 的大作中提到: 】: 铜是深能级杂质,要保证整个工艺过程中铜不能和硅直接接触,难度很大,铝没这个问题--
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FROM 171.40.79.*
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