据我所知，EUV光源材料吸收率极高，好像投影物镜只能用6片反射镜，光源部分数量相当或者更少，哪有上千片镜片这一说…
【 在 kaikara 的大作中提到: 】
: 上千片镜头元件，各种形状，非球面，自由曲面，加工精度可以说代表了光学超精密制造的最高水准，远比什么单反镜头，光电武器的技术难度大。当年某两个所在光刻领域竞标项目，在单个零件的加工指标上攻关了好久，更别说装配在一起的难度了。不是不能，是真不行
:
--
FROM 220.194.107.*