光源中科院跟清华都在搞一样，清华号称EUV光源都要搞定了。
【 在 xmly 的大作中提到: 】
: 这个是 整机厂商, 只做控制。  
:  
: 它需要 光源模组 才行  
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: smee应该是自己没能力研发光源模组， 只能等其他地方突破光源模组 才可以。  
:  
: 似乎是 北京的企业负责光源  
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发自「今日水木 on ELE-TL00」
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