DUV可能还卡在193nm，应该还是电子跃迁的；

至于EUV就不知道了；

不过可以确定地是卡在激发类光源卡在193nm已经很久了，要么找不到合适地元素，要么
工程上有无法逾越地瓶颈；


【 在 myspam (mys/梅艳珊/珊珊/Pam/帕姆) 的大作中提到: 】
: 现在那些DUV EUV 波长的也都是激光吗
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