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主题:Re: 有没有用激光当光源的
myspam
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2021-11-28 11:55:21
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你知道为什么激光在各种波长都存在,但是别的光一般都只在一定波长频率范围内吗
【 在 justmj 的大作中提到: 】
: 光刻使用很多波长的光。 I-line,G-line一般用汞灯,duv有248nm,193nm, 用的是激光。 euv 用的也是激光。在 euv商业化之前,面临的难题之一就是激光功率不够,导致euv光刻机产能低、经济效果差。
: 发自「今日水木 on JSN-AL00」
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