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主题:Re: 什么是沉浸式光刻机？
Matshaw
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2022-10-10 00:00:58
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台积电的林本坚使用193nm波长在镜头处设置水介质的浸没光路，是DUV
※ 修改:·Matshaw 于 Oct 10 00:01:34 2022 修改本文·[FROM: 1.203.183.*]
※ 来源:·
https://exp.mysmth.net
·[FROM: 1.203.183.*]
修改:Matshaw FROM 1.203.183.*
FROM 1.203.183.*
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