你们是只改NW和PW这两层mask?那当初画layout留了这么大空间让你放大NW?如果当初能想到WPE效应,那加dummy或者注意匹配的管子周围环境就可以。说实话,SMIC的PDK里面能后仿出WPE的影响。不确定是不是它所有的工艺都行,我用过的可以。
【 在 CoreMM 的大作中提到: 】
: 我们设计后,因为管子阈值电压原因,想改NW这一层mask,把NW扩大。
: 我以为只要花一层mask的钱,改掉就好了。
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--来自微微水木3.5.12
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